南开大学学报（自然科学版）
南開大學學報（自然科學版）
남개대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS NANKAIENSIS(NATURAL SCIENCE EDITION)
2000年
3期
50-53
,共4页
李兴%梁家昌%Hunderson Therman
李興%樑傢昌%Hunderson Therman
리흥%량가창%Hunderson Therman
微型流量传感器%Si的深掺杂%惠斯登电桥%响应时间
微型流量傳感器%Si的深摻雜%惠斯登電橋%響應時間
미형류량전감기%Si적심참잡%혜사등전교%향응시간
使用深掺杂方法在Si材料中掺入金原子后,其电阻随温度T的变化关系由主要依赖于T-3/2项的浅掺杂材料变成主要依赖于exp(-E/KT)项的深掺杂材料,从而大幅度地提高了掺金Si材料对温度的敏感性.在理论上深掺杂Si材料比浅掺杂Si材料对温度的敏感性提高了约1000倍.用深掺杂方法制成的微型流量传感器特性的测量证明了以上理论.深掺杂Si材料的应用不但提高了微型流量传感器的灵敏度,也大幅度地降低了其时间常数.
使用深摻雜方法在Si材料中摻入金原子後,其電阻隨溫度T的變化關繫由主要依賴于T-3/2項的淺摻雜材料變成主要依賴于exp(-E/KT)項的深摻雜材料,從而大幅度地提高瞭摻金Si材料對溫度的敏感性.在理論上深摻雜Si材料比淺摻雜Si材料對溫度的敏感性提高瞭約1000倍.用深摻雜方法製成的微型流量傳感器特性的測量證明瞭以上理論.深摻雜Si材料的應用不但提高瞭微型流量傳感器的靈敏度,也大幅度地降低瞭其時間常數.
사용심참잡방법재Si재료중참입금원자후,기전조수온도T적변화관계유주요의뢰우T-3/2항적천참잡재료변성주요의뢰우exp(-E/KT)항적심참잡재료,종이대폭도지제고료참금Si재료대온도적민감성.재이론상심참잡Si재료비천참잡Si재료대온도적민감성제고료약1000배.용심참잡방법제성적미형류량전감기특성적측량증명료이상이론.심참잡Si재료적응용불단제고료미형류량전감기적령민도,야대폭도지강저료기시간상수.
