硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2000年
3期
21-23
,共3页
沈良%宋世庚%贾锐%陶明德
瀋良%宋世庚%賈銳%陶明德
침량%송세경%가예%도명덕
BaTiO3薄膜%溶胶-凝胶法%介电性质
BaTiO3薄膜%溶膠-凝膠法%介電性質
BaTiO3박막%용효-응효법%개전성질
以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3溶胶,溶胶清晰稳定,保存时间长.并用XRD分析了沉积在Si(100)低阻硅片上的薄膜的结构,发现薄膜在600℃时结晶状态已良好.文中同时对薄膜的介电性质进行研究,并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响.
以鈦痠四丁酯和乙痠鋇為主要原料,以乙二醇獨甲醚為溶劑,採用溶膠凝膠法成功地配製齣瞭BaTiO3溶膠,溶膠清晰穩定,保存時間長.併用XRD分析瞭沉積在Si(100)低阻硅片上的薄膜的結構,髮現薄膜在600℃時結晶狀態已良好.文中同時對薄膜的介電性質進行研究,併討論瞭退火溫度對薄膜介電性質的影響.
이태산사정지화을산패위주요원료,이을이순독갑미위용제,채용용효응효법성공지배제출료BaTiO3용효,용효청석은정,보존시간장.병용XRD분석료침적재Si(100)저조규편상적박막적결구,발현박막재600℃시결정상태이량호.문중동시대박막적개전성질진행연구,병토론료퇴화온도대박막개전성질적영향.
