中国科学A辑
中國科學A輯
중국과학A집
SCIENCE IN CHINA (SERIES A)
1999年
1期
92-96
,共5页
朱晓东%詹如娟%周海洋%胡敏%温晓辉%周贵恩%李凡庆
硃曉東%詹如娟%週海洋%鬍敏%溫曉輝%週貴恩%李凡慶
주효동%첨여연%주해양%호민%온효휘%주귀은%리범경
金刚石薄膜%等离子体诊断%活性基团
金剛石薄膜%等離子體診斷%活性基糰
금강석박막%등리자체진단%활성기단
利用光发射谱和Langmuir探针对热阴极直流放电等离子体化学气相淀积(PCVD)金刚石薄膜的等离子体环境进行了原位诊断,根据探针和光谱诊断结果定量地计算了在放电电流密度变化过程中基态氢原子和基态CH基团数密度的变化,发现基态和激发态的原子氢和CH基团的数密度均因放电密度增加而提高. 电子密度、CH发射的相对强度均随放电电流密度的增加而线性增加,而不同的含碳活性粒子的产生与电子温度的升高有关. 将诊断结果与金刚石的生长相联系,表明激发态的原子氢的产生促进了金刚石的生长,等离子体环境中电子温度和密度的增加对金刚石生长速率提高起着重要的作用.
利用光髮射譜和Langmuir探針對熱陰極直流放電等離子體化學氣相澱積(PCVD)金剛石薄膜的等離子體環境進行瞭原位診斷,根據探針和光譜診斷結果定量地計算瞭在放電電流密度變化過程中基態氫原子和基態CH基糰數密度的變化,髮現基態和激髮態的原子氫和CH基糰的數密度均因放電密度增加而提高. 電子密度、CH髮射的相對彊度均隨放電電流密度的增加而線性增加,而不同的含碳活性粒子的產生與電子溫度的升高有關. 將診斷結果與金剛石的生長相聯繫,錶明激髮態的原子氫的產生促進瞭金剛石的生長,等離子體環境中電子溫度和密度的增加對金剛石生長速率提高起著重要的作用.
이용광발사보화Langmuir탐침대열음겁직류방전등리자체화학기상정적(PCVD)금강석박막적등리자체배경진행료원위진단,근거탐침화광보진단결과정량지계산료재방전전류밀도변화과정중기태경원자화기태CH기단수밀도적변화,발현기태화격발태적원자경화CH기단적수밀도균인방전밀도증가이제고. 전자밀도、CH발사적상대강도균수방전전류밀도적증가이선성증가,이불동적함탄활성입자적산생여전자온도적승고유관. 장진단결과여금강석적생장상련계,표명격발태적원자경적산생촉진료금강석적생장,등리자체배경중전자온도화밀도적증가대금강석생장속솔제고기착중요적작용.
