仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
1999年
1期
100-102
,共3页
周恕义%关承祥%邬敏贤%金国藩
週恕義%關承祥%鄔敏賢%金國藩
주서의%관승상%오민현%금국번
最小二乘法%CCD%干涉条纹
最小二乘法%CCD%榦涉條紋
최소이승법%CCD%간섭조문
本文针对相位型光栅的面形测量,用最小二乘法做二次曲线拟合,解决了CCD光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响,使干涉条纹定位精度提高一数量级以上.对曲线拟合误差进行了讨论,给出了实测结果.
本文針對相位型光柵的麵形測量,用最小二乘法做二次麯線擬閤,解決瞭CCD光學榦涉計量中像素呎吋以及圖像採集卡空間量化誤差對測量精度的影響,使榦涉條紋定位精度提高一數量級以上.對麯線擬閤誤差進行瞭討論,給齣瞭實測結果.
본문침대상위형광책적면형측량,용최소이승법주이차곡선의합,해결료CCD광학간섭계량중상소척촌이급도상채집잡공간양화오차대측량정도적영향,사간섭조문정위정도제고일수량급이상.대곡선의합오차진행료토론,급출료실측결과.
