电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
1999年
4期
11-12
,共2页
袁战恒%孙海君%徐友龙%曹婉真
袁戰恆%孫海君%徐友龍%曹婉真
원전항%손해군%서우룡%조완진
铝阳极氧化膜%相关元素分布%介电性能
鋁暘極氧化膜%相關元素分佈%介電性能
려양겁양화막%상관원소분포%개전성능
利用俄歇电子能谱仪(AES)分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布,分析表明膜中不同程度存在B、C、P等相关元素.测试其相应的介电性能,表明氧铝比R(O∶Al)接近于1.5时其介电性能较好.
利用俄歇電子能譜儀(AES)分析瞭高場彊下不同條件形成的暘極氧化膜中相關元素的分佈,分析錶明膜中不同程度存在B、C、P等相關元素.測試其相應的介電性能,錶明氧鋁比R(O∶Al)接近于1.5時其介電性能較好.
이용아헐전자능보의(AES)분석료고장강하불동조건형성적양겁양화막중상관원소적분포,분석표명막중불동정도존재B、C、P등상관원소.측시기상응적개전성능,표명양려비R(O∶Al)접근우1.5시기개전성능교호.
