功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
2期
133-138
,共6页
宗登刚%王钻开%陆德仁%王聪和%陈刚
宗登剛%王鑽開%陸德仁%王聰和%陳剛
종등강%왕찬개%륙덕인%왕총화%진강
微机械%悬桥%LPCVD%氮化硅%杨氏模量%残余应力%弯曲强度
微機械%懸橋%LPCVD%氮化硅%楊氏模量%殘餘應力%彎麯彊度
미궤계%현교%LPCVD%담화규%양씨모량%잔여응력%만곡강도
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷－挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏 模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.低应力 LPCVD氮化硅薄膜的研究结果 :杨氏模量为 (308.4± 24.1) Gpa , 残余应力为 (252.9± 32.4 )Mpa, 弯曲强度为 (6.2± 1.3) Gpa.
利用高精密納米壓入儀檢測微機械懸橋的載荷－撓度麯線,來研究低應力 LPCVD氮化硅薄 膜的力學特性.通過大撓度理論分析,得到攷慮瞭襯底變形對撓度有貢獻的微橋撓度解析錶達式. 對于在加卸載過程中錶現齣完全彈性的微橋,利用最小二乘法對其撓度進行瞭擬閤,從而得到楊氏 模量、殘餘應力和彎麯彊度等力學特性參數.低應力 LPCVD氮化硅薄膜的研究結果 :楊氏模量為 (308.4± 24.1) Gpa , 殘餘應力為 (252.9± 32.4 )Mpa, 彎麯彊度為 (6.2± 1.3) Gpa.
이용고정밀납미압입의검측미궤계현교적재하－뇨도곡선,래연구저응력 LPCVD담화규박 막적역학특성.통과대뇨도이론분석,득도고필료츤저변형대뇨도유공헌적미교뇨도해석표체식. 대우재가사재과정중표현출완전탄성적미교,이용최소이승법대기뇨도진행료의합,종이득도양씨 모량、잔여응력화만곡강도등역학특성삼수.저응력 LPCVD담화규박막적연구결과 :양씨모량위 (308.4± 24.1) Gpa , 잔여응력위 (252.9± 32.4 )Mpa, 만곡강도위 (6.2± 1.3) Gpa.
