材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2002年
10期
36-37
,共2页
低压热化学气相沉积%高效沉积%反应室%设计
低壓熱化學氣相沉積%高效沉積%反應室%設計
저압열화학기상침적%고효침적%반응실%설계
利用Arrhenius公式对化学气相沉积的反应进行研究,设计了一种低压热化学气相沉积(LPCVD)高效沉积反应室.在料管的下方与衬底的上方间安放漏斗型筛板,在工艺中有效地提高了氢气的分压,并有利于衬底温度的提高,加快了沉积速率.通过对设计前后钨薄膜的金相组织对比分析后发现,较高的沉积速率可以使沉积薄膜晶粒细小,结构致密,但薄膜与衬底附着力较差,提高衬底温度可有效地提高薄膜与衬底附着力,以弥补因较高的沉积速率带来的薄膜与衬底附着力较差的问题,提高薄膜质量.
利用Arrhenius公式對化學氣相沉積的反應進行研究,設計瞭一種低壓熱化學氣相沉積(LPCVD)高效沉積反應室.在料管的下方與襯底的上方間安放漏鬥型篩闆,在工藝中有效地提高瞭氫氣的分壓,併有利于襯底溫度的提高,加快瞭沉積速率.通過對設計前後鎢薄膜的金相組織對比分析後髮現,較高的沉積速率可以使沉積薄膜晶粒細小,結構緻密,但薄膜與襯底附著力較差,提高襯底溫度可有效地提高薄膜與襯底附著力,以瀰補因較高的沉積速率帶來的薄膜與襯底附著力較差的問題,提高薄膜質量.
이용Arrhenius공식대화학기상침적적반응진행연구,설계료일충저압열화학기상침적(LPCVD)고효침적반응실.재료관적하방여츤저적상방간안방루두형사판,재공예중유효지제고료경기적분압,병유리우츤저온도적제고,가쾌료침적속솔.통과대설계전후오박막적금상조직대비분석후발현,교고적침적속솔가이사침적박막정립세소,결구치밀,단박막여츤저부착력교차,제고츤저온도가유효지제고박막여츤저부착력,이미보인교고적침적속솔대래적박막여츤저부착력교차적문제,제고박막질량.
