稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2002年
6期
460-467
,共8页
肖清华%屠海令%周旗钢%王敬%常青%张果虎
肖清華%屠海令%週旂鋼%王敬%常青%張果虎
초청화%도해령%주기강%왕경%상청%장과호
SOI%注氧隔离%智能剥离%硅片键合与减薄%外延层转移
SOI%註氧隔離%智能剝離%硅片鍵閤與減薄%外延層轉移
SOI%주양격리%지능박리%규편건합여감박%외연층전이
SOI材料被誉为"二十一世纪硅集成电路技术"的基础. 它可消除或减轻体硅中的体效应、寄生效应及小尺寸效应等, 在超大规模集成电路、光电子等领域有广阔的应用前景. 介绍了注氧隔离、智能剥离、硅片剥离及外延层转移等几种主要的制备SOI材料的方法及近期相关的研究成果. 降低制造成本、提高材料质量以及获得足够薄的顶部硅层是近年来SOI材料制备技术改进的目标.
SOI材料被譽為"二十一世紀硅集成電路技術"的基礎. 它可消除或減輕體硅中的體效應、寄生效應及小呎吋效應等, 在超大規模集成電路、光電子等領域有廣闊的應用前景. 介紹瞭註氧隔離、智能剝離、硅片剝離及外延層轉移等幾種主要的製備SOI材料的方法及近期相關的研究成果. 降低製造成本、提高材料質量以及穫得足夠薄的頂部硅層是近年來SOI材料製備技術改進的目標.
SOI재료피예위"이십일세기규집성전로기술"적기출. 타가소제혹감경체규중적체효응、기생효응급소척촌효응등, 재초대규모집성전로、광전자등영역유엄활적응용전경. 개소료주양격리、지능박리、규편박리급외연층전이등궤충주요적제비SOI재료적방법급근기상관적연구성과. 강저제조성본、제고재료질량이급획득족구박적정부규층시근년래SOI재료제비기술개진적목표.
