液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2002年
4期
265-269
,共5页
吕永积%邵佑军%刘光诒%施化芬
呂永積%邵祐軍%劉光詒%施化芬
려영적%소우군%류광이%시화분
真空微电子平板摄像管%真空热预处理%非真空热后处理
真空微電子平闆攝像管%真空熱預處理%非真空熱後處理
진공미전자평판섭상관%진공열예처리%비진공열후처리
为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理二种处理新工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级,而清晰度(分辨率)保持不变.介绍了CdSe蒸发工艺对靶面特性的影响.
為瞭開髮用于真空微電子平闆攝像管的高靈敏度CdSe多層光導材料,改建瞭一檯能精確控製CdSe材料的蒸髮速率、厚度和基體溫度的高真空蒸鍍設備,開髮瞭由真空熱預處理,非真空熱後處理二種處理新工藝,製造齣瞭新的高性能的CdSe多層光導靶.使CdSe多層光導靶的靈敏度提高瞭兩箇數量級,而清晰度(分辨率)保持不變.介紹瞭CdSe蒸髮工藝對靶麵特性的影響.
위료개발용우진공미전자평판섭상관적고령민도CdSe다층광도재료,개건료일태능정학공제CdSe재료적증발속솔、후도화기체온도적고진공증도설비,개발료유진공열예처리,비진공열후처리이충처리신공예,제조출료신적고성능적CdSe다층광도파.사CdSe다층광도파적령민도제고료량개수량급,이청석도(분변솔)보지불변.개소료CdSe증발공예대파면특성적영향.
