高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2001年
10期
103-106
,共4页
介绍了各种常规CVD 工艺及其特点,并结合现行广泛采用的均热法CVD工艺,综述了针对其不足而展开的一系列新工艺研究及进展.
介紹瞭各種常規CVD 工藝及其特點,併結閤現行廣汎採用的均熱法CVD工藝,綜述瞭針對其不足而展開的一繫列新工藝研究及進展.
개소료각충상규CVD 공예급기특점,병결합현행엄범채용적균열법CVD공예,종술료침대기불족이전개적일계렬신공예연구급진전.