北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2005年
2期
205-208,212
,共5页
熊小涛%阎良臣%杨会生%王燕斌
熊小濤%閻良臣%楊會生%王燕斌
웅소도%염량신%양회생%왕연빈
氧化铬%薄膜%磁控溅射%力学性能
氧化鉻%薄膜%磁控濺射%力學性能
양화락%박막%자공천사%역학성능
研究了采用射频反应溅射方法制备氧化铬耐磨镀层的技术和薄膜的性能.结果表明,采用金属靶材进行射频反应溅射时,由于靶材与反应气体的反应,会出现两种溅射模式,即金属态溅射和非金属态溅射,非金属态溅射模式的沉积速率很低.氧化铬薄膜的硬度主要决定于薄膜中Cr2O3含量,在供氧量不足时会生成低硬度的CrO,制备高硬度氧化铬薄膜需要采用尽可能高的氧流量进行溅射.采用在基片附近局域供氧,可以实现高溅射速率下制备出高硬度的氧化铬薄膜.
研究瞭採用射頻反應濺射方法製備氧化鉻耐磨鍍層的技術和薄膜的性能.結果錶明,採用金屬靶材進行射頻反應濺射時,由于靶材與反應氣體的反應,會齣現兩種濺射模式,即金屬態濺射和非金屬態濺射,非金屬態濺射模式的沉積速率很低.氧化鉻薄膜的硬度主要決定于薄膜中Cr2O3含量,在供氧量不足時會生成低硬度的CrO,製備高硬度氧化鉻薄膜需要採用儘可能高的氧流量進行濺射.採用在基片附近跼域供氧,可以實現高濺射速率下製備齣高硬度的氧化鉻薄膜.
연구료채용사빈반응천사방법제비양화락내마도층적기술화박막적성능.결과표명,채용금속파재진행사빈반응천사시,유우파재여반응기체적반응,회출현량충천사모식,즉금속태천사화비금속태천사,비금속태천사모식적침적속솔흔저.양화락박막적경도주요결정우박막중Cr2O3함량,재공양량불족시회생성저경도적CrO,제비고경도양화락박막수요채용진가능고적양류량진행천사.채용재기편부근국역공양,가이실현고천사속솔하제비출고경도적양화락박막.
