光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
6期
822-826
,共5页
蒋培军%范晓东%钱坤%徐端颐%齐国生
蔣培軍%範曉東%錢坤%徐耑頤%齊國生
장배군%범효동%전곤%서단이%제국생
母盘刻录%电子束%近场%超分辨技术%直接母盘刻录系统
母盤刻錄%電子束%近場%超分辨技術%直接母盤刻錄繫統
모반각록%전자속%근장%초분변기술%직접모반각록계통
介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展.指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景.
介紹瞭母盤刻錄中的關鍵技術和噹前母盤刻錄技術的各箇研究領域及其最新進展.指齣瞭這些技術在下一代母盤刻錄中的應用前景.
개소료모반각록중적관건기술화당전모반각록기술적각개연구영역급기최신진전.지출료저사기술재하일대모반각록중적응용전경.
