摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2008年
6期
517-523
,共7页
MEMS%微摩擦%静电阻力%表面粗糙度
MEMS%微摩抆%靜電阻力%錶麵粗糙度
MEMS%미마찰%정전조력%표면조조도
由于微机械的表面积与体积之比远大于宏机械,所以微机械中的表面阻力难以忽略,为了改善MEMS器件的性能和可靠性,必须对其影响进行研究.基于能量守衡法,本文建立了光滑平板和正方形、四棱锥两种微凸体粗糙表面平板的切向静电阻力模型,讨论了微小尺度、表面形貌、外加电压以及因流片制造工艺而产生的微凸体、凹坑或孔对两个相对运动的带电平板间的切向静电阻力的影响.分析表明:当平板宽度与两平板之间的距离之比、表面形貌因数和外加电压增大时,切向静电阻力也将随之增加;表面形貌因数则与微凸体在平板的总投影面积与平板面积之比成正比,随相对表面粗糙度增加而非线性增加.
由于微機械的錶麵積與體積之比遠大于宏機械,所以微機械中的錶麵阻力難以忽略,為瞭改善MEMS器件的性能和可靠性,必鬚對其影響進行研究.基于能量守衡法,本文建立瞭光滑平闆和正方形、四稜錐兩種微凸體粗糙錶麵平闆的切嚮靜電阻力模型,討論瞭微小呎度、錶麵形貌、外加電壓以及因流片製造工藝而產生的微凸體、凹坑或孔對兩箇相對運動的帶電平闆間的切嚮靜電阻力的影響.分析錶明:噹平闆寬度與兩平闆之間的距離之比、錶麵形貌因數和外加電壓增大時,切嚮靜電阻力也將隨之增加;錶麵形貌因數則與微凸體在平闆的總投影麵積與平闆麵積之比成正比,隨相對錶麵粗糙度增加而非線性增加.
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