真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
2期
168-172
,共5页
李广泽%乌晓燕%陈扬辉%李戈扬
李廣澤%烏曉燕%陳颺輝%李戈颺
리엄택%오효연%진양휘%리과양
碳化钒%硬质薄膜%微结构%力学性能%磁控溅射
碳化釩%硬質薄膜%微結構%力學性能%磁控濺射
탄화범%경질박막%미결구%역학성능%자공천사
在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能.研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响.结果表明,采用在At-C2H2混合气体中的射频反应磁控溅射技术可以方便地合成碳化钒薄膜.但是,只有在C2H2分压为混合气体总压约4%附近很窄的范围内才可获得力学性能优异的碳化钒薄膜.其硬度和弹性模量分别达到35.5GPa和358GPa,此时,薄膜为NaCI结构的VC,且具有柱状生长的特征.随着C2H2分压的提高,薄膜形成六方结构的7-VC,并逐渐产生非晶碳相,硬度和弹性模量随之降低.
在Ar、C2H2混閤氣氛中通過反應磁控濺射法製備瞭一繫列不同碳含量的碳化釩薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力學探針錶徵瞭薄膜的微結構和力學性能.研究瞭C2H2分壓對薄膜成分、相組成、微結構以及硬度和彈性模量的影響.結果錶明,採用在At-C2H2混閤氣體中的射頻反應磁控濺射技術可以方便地閤成碳化釩薄膜.但是,隻有在C2H2分壓為混閤氣體總壓約4%附近很窄的範圍內纔可穫得力學性能優異的碳化釩薄膜.其硬度和彈性模量分彆達到35.5GPa和358GPa,此時,薄膜為NaCI結構的VC,且具有柱狀生長的特徵.隨著C2H2分壓的提高,薄膜形成六方結構的7-VC,併逐漸產生非晶碳相,硬度和彈性模量隨之降低.
재Ar、C2H2혼합기분중통과반응자공천사법제비료일계렬불동탄함량적탄화범박막,이용EDX、XRD、SEM、AFM화미역학탐침표정료박막적미결구화역학성능.연구료C2H2분압대박막성분、상조성、미결구이급경도화탄성모량적영향.결과표명,채용재At-C2H2혼합기체중적사빈반응자공천사기술가이방편지합성탄화범박막.단시,지유재C2H2분압위혼합기체총압약4%부근흔착적범위내재가획득역학성능우이적탄화범박막.기경도화탄성모량분별체도35.5GPa화358GPa,차시,박막위NaCI결구적VC,차구유주상생장적특정.수착C2H2분압적제고,박막형성륙방결구적7-VC,병축점산생비정탄상,경도화탄성모량수지강저.
