电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2010年
2期
135-138
,共4页
刘子丽%肖峻%蒋向东%孙继伟
劉子麗%肖峻%蔣嚮東%孫繼偉
류자려%초준%장향동%손계위
TiO2薄膜%基片温度%直流磁控溅射%紫外光电特性
TiO2薄膜%基片溫度%直流磁控濺射%紫外光電特性
TiO2박막%기편온도%직류자공천사%자외광전특성
为了制备具有紫外光电特性的TiO2薄膜,采用直流磁控溅射(DC)的方法在不同温度的玻璃基片上制备了TiO2薄膜.通过用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X-射线能谱仪(EDS)测试薄膜的晶体结构、表面形貌和薄膜组成成分.结果表明:当基片温度在250℃及以上时,制备出具有锐钛矿结构的TiO2薄膜,并且有较好化学计量比.TiO2薄膜电阻在紫外光照射下的响应时间随基片温度的升高而减少.
為瞭製備具有紫外光電特性的TiO2薄膜,採用直流磁控濺射(DC)的方法在不同溫度的玻璃基片上製備瞭TiO2薄膜.通過用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、X-射線能譜儀(EDS)測試薄膜的晶體結構、錶麵形貌和薄膜組成成分.結果錶明:噹基片溫度在250℃及以上時,製備齣具有銳鈦礦結構的TiO2薄膜,併且有較好化學計量比.TiO2薄膜電阻在紫外光照射下的響應時間隨基片溫度的升高而減少.
위료제비구유자외광전특성적TiO2박막,채용직류자공천사(DC)적방법재불동온도적파리기편상제비료TiO2박막.통과용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、X-사선능보의(EDS)측시박막적정체결구、표면형모화박막조성성분.결과표명:당기편온도재250℃급이상시,제비출구유예태광결구적TiO2박막,병차유교호화학계량비.TiO2박막전조재자외광조사하적향응시간수기편온도적승고이감소.
