材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2010年
5期
98-101
,共4页
无损检测%三电极电容模型%保角变换%灵敏度
無損檢測%三電極電容模型%保角變換%靈敏度
무손검측%삼전겁전용모형%보각변환%령민도
针对薄膜材料厚度无损测试技术,提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法.具体采用了三电极平行板电容器结构,该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头,电极之间的间距可变.依据电容原理和保角变换方法建立理论模型.通过Fortran语言编写算法,将得出的计算结果与传统方法进行比较.结果表明用此方法检测薄膜厚度变化,不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单,操作快捷,便于控制,低功耗,低成本等优点,还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度.
針對薄膜材料厚度無損測試技術,提齣一種三電極平行闆電容傳感器薄膜測厚方法.具體採用瞭三電極平行闆電容器結構,該電容傳感器含有三箇相同的幾何呎吋是毫米級的平闆電極探頭,電極之間的間距可變.依據電容原理和保角變換方法建立理論模型.通過Fortran語言編寫算法,將得齣的計算結果與傳統方法進行比較.結果錶明用此方法檢測薄膜厚度變化,不僅繼承瞭傳統電容測厚技術具有的結構簡單,操作快捷,便于控製,低功耗,低成本等優點,還大大提高瞭薄膜厚度檢測的靈敏度.
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