微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2012年
3期
406-410
,共5页
张艳%檀柏梅%高宝红%刘玉岭%黄妍妍
張豔%檀柏梅%高寶紅%劉玉嶺%黃妍妍
장염%단백매%고보홍%류옥령%황연연
金刚石膜电极%电化学%清洗%有机物%氧化液
金剛石膜電極%電化學%清洗%有機物%氧化液
금강석막전겁%전화학%청세%유궤물%양화액
提出了一种采用电化学去除硅片表面有机物的新的清洗方法,用金刚石膜电极作为阳极,电化学氧化硫酸铵溶液生成稳定的强氧化溶液,电解液的氧化性通过间接碘量法测量.通过大量实验,优化初始电解液的浓度以及初始温度等因素,得到氧化强度最佳的电化学清洗液.用自制氧化液进行硅片表面有机物的清洗实验,并与传统的RCA清洗方法进行对比.通过XPS分析可知,采用新的电化学氧化溶液清洗后的硅片表面有机物去除效果明显优于对比实验样品.
提齣瞭一種採用電化學去除硅片錶麵有機物的新的清洗方法,用金剛石膜電極作為暘極,電化學氧化硫痠銨溶液生成穩定的彊氧化溶液,電解液的氧化性通過間接碘量法測量.通過大量實驗,優化初始電解液的濃度以及初始溫度等因素,得到氧化彊度最佳的電化學清洗液.用自製氧化液進行硅片錶麵有機物的清洗實驗,併與傳統的RCA清洗方法進行對比.通過XPS分析可知,採用新的電化學氧化溶液清洗後的硅片錶麵有機物去除效果明顯優于對比實驗樣品.
제출료일충채용전화학거제규편표면유궤물적신적청세방법,용금강석막전겁작위양겁,전화학양화류산안용액생성은정적강양화용액,전해액적양화성통과간접전량법측량.통과대량실험,우화초시전해액적농도이급초시온도등인소,득도양화강도최가적전화학청세액.용자제양화액진행규편표면유궤물적청세실험,병여전통적RCA청세방법진행대비.통과XPS분석가지,채용신적전화학양화용액청세후적규편표면유궤물거제효과명현우우대비실험양품.
