材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2007年
4期
122-124
,共3页
薄膜技术%激光损伤阈值%激光损伤光斑%氧化钒薄膜
薄膜技術%激光損傷閾值%激光損傷光斑%氧化釩薄膜
박막기술%격광손상역치%격광손상광반%양화범박막
采用离子束溅射和退火工艺,在K9玻璃基体上制备了氧化钒薄膜,并对其微观形貌及组成进行了研究,还应用脉宽10ns、532nm波长的Nd:YAG激光器对薄膜样品进行了激光损伤阈值的测试.扫描电镜(SEM)分析结果表明,所制备的氧化钒薄膜均匀致密,晶粒平均尺寸约50nm.X射线光电子谱(XPS)分析可知,薄膜中钒的价态为+4价和+5价,薄膜由VO2和V2O5组成.在1Hz多次单点照射的条件下,以刚可见损伤作为判断激光损伤阈值的条件,得到此氧化钒薄膜的激光损伤阈值为21.9mJ/cm2.对刚可见损伤光斑和明显损伤光斑进行了微观分析,探讨了激光损伤原因.
採用離子束濺射和退火工藝,在K9玻璃基體上製備瞭氧化釩薄膜,併對其微觀形貌及組成進行瞭研究,還應用脈寬10ns、532nm波長的Nd:YAG激光器對薄膜樣品進行瞭激光損傷閾值的測試.掃描電鏡(SEM)分析結果錶明,所製備的氧化釩薄膜均勻緻密,晶粒平均呎吋約50nm.X射線光電子譜(XPS)分析可知,薄膜中釩的價態為+4價和+5價,薄膜由VO2和V2O5組成.在1Hz多次單點照射的條件下,以剛可見損傷作為判斷激光損傷閾值的條件,得到此氧化釩薄膜的激光損傷閾值為21.9mJ/cm2.對剛可見損傷光斑和明顯損傷光斑進行瞭微觀分析,探討瞭激光損傷原因.
채용리자속천사화퇴화공예,재K9파리기체상제비료양화범박막,병대기미관형모급조성진행료연구,환응용맥관10ns、532nm파장적Nd:YAG격광기대박막양품진행료격광손상역치적측시.소묘전경(SEM)분석결과표명,소제비적양화범박막균균치밀,정립평균척촌약50nm.X사선광전자보(XPS)분석가지,박막중범적개태위+4개화+5개,박막유VO2화V2O5조성.재1Hz다차단점조사적조건하,이강가견손상작위판단격광손상역치적조건,득도차양화범박막적격광손상역치위21.9mJ/cm2.대강가견손상광반화명현손상광반진행료미관분석,탐토료격광손상원인.
