半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2003年
3期
160-164
,共5页
微电子机械系统%光调制器%固有频率
微電子機械繫統%光調製器%固有頻率
미전자궤계계통%광조제기%고유빈솔
讨论了一种具有Fabry-Perot结构的新型微机械光调制器,该光调制器由表面微机械工艺制备.理论分析表明,正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波对光调制器的驱动结果是完全不同的.测量结果表明,微机械光调制器有一系列的固有频率.对正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波信号的测量结果显示,调制器的响应是对驱动力中各频率成分的响应,和理论分析符合得非常好.
討論瞭一種具有Fabry-Perot結構的新型微機械光調製器,該光調製器由錶麵微機械工藝製備.理論分析錶明,正絃信號、帶直流偏置的正絃信號和方波對光調製器的驅動結果是完全不同的.測量結果錶明,微機械光調製器有一繫列的固有頻率.對正絃信號、帶直流偏置的正絃信號和方波信號的測量結果顯示,調製器的響應是對驅動力中各頻率成分的響應,和理論分析符閤得非常好.
토론료일충구유Fabry-Perot결구적신형미궤계광조제기,해광조제기유표면미궤계공예제비.이론분석표명,정현신호、대직류편치적정현신호화방파대광조제기적구동결과시완전불동적.측량결과표명,미궤계광조제기유일계렬적고유빈솔.대정현신호、대직류편치적정현신호화방파신호적측량결과현시,조제기적향응시대구동력중각빈솔성분적향응,화이론분석부합득비상호.
