环境保护科学
環境保護科學
배경보호과학
ENVIRONMENTAL PROTCTION SCIENCE
2006年
3期
22-24,27
,共4页
集成电路%环境影响%对策措施
集成電路%環境影響%對策措施
집성전로%배경영향%대책조시
集成电路产业对国民经济的发展起着"倍增器"的作用,集成电路芯片的加工生产工艺流程比较复杂,污染因子多,环境问题突出.笔者详细分析了典型芯片制造厂污染物的产生及应采取的环保治理措施,对于芯片生产排放的半导体特殊气体,目前我国尚无排放标准,提出了参照执行技术引进国的有关标准.
集成電路產業對國民經濟的髮展起著"倍增器"的作用,集成電路芯片的加工生產工藝流程比較複雜,汙染因子多,環境問題突齣.筆者詳細分析瞭典型芯片製造廠汙染物的產生及應採取的環保治理措施,對于芯片生產排放的半導體特殊氣體,目前我國尚無排放標準,提齣瞭參照執行技術引進國的有關標準.
집성전로산업대국민경제적발전기착"배증기"적작용,집성전로심편적가공생산공예류정비교복잡,오염인자다,배경문제돌출.필자상세분석료전형심편제조엄오염물적산생급응채취적배보치리조시,대우심편생산배방적반도체특수기체,목전아국상무배방표준,제출료삼조집행기술인진국적유관표준.
