传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
6期
2460-2463
,共4页
徐安桃%付敬业%郑义忠%叶声华
徐安桃%付敬業%鄭義忠%葉聲華
서안도%부경업%정의충%협성화
小深孔%电容传感器%传感器标定
小深孔%電容傳感器%傳感器標定
소심공%전용전감기%전감기표정
采用电容传感器测量小深孔的孔径,该系统使用直径较小的电容探针作为传感器件,电容仪器将孔径的变化转换为电压的变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了电容传感器的工作原理和电容仪器的转换电路的基本原理,设计了电容传感器测量小盲深孔孔径系统的总体方案,特别使用小于Ф3而大于Ф1深孔的内径自动检测,并对Ф3和7mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5 μm,测量分辨率为0.05μm.
採用電容傳感器測量小深孔的孔徑,該繫統使用直徑較小的電容探針作為傳感器件,電容儀器將孔徑的變化轉換為電壓的變化,併通過USB接口將此電壓信號輸入到計算機繫統中進行處理.論述瞭電容傳感器的工作原理和電容儀器的轉換電路的基本原理,設計瞭電容傳感器測量小盲深孔孔徑繫統的總體方案,特彆使用小于Ф3而大于Ф1深孔的內徑自動檢測,併對Ф3和7mm孔徑進行瞭實際測量,併分析瞭測量所得到的數據,多次測量的標準差小于0.5 μm,測量分辨率為0.05μm.
채용전용전감기측량소심공적공경,해계통사용직경교소적전용탐침작위전감기건,전용의기장공경적변화전환위전압적변화,병통과USB접구장차전압신호수입도계산궤계통중진행처리.논술료전용전감기적공작원리화전용의기적전환전로적기본원리,설계료전용전감기측량소맹심공공경계통적총체방안,특별사용소우Ф3이대우Ф1심공적내경자동검측,병대Ф3화7mm공경진행료실제측량,병분석료측량소득도적수거,다차측량적표준차소우0.5 μm,측량분변솔위0.05μm.
