液压与气动
液壓與氣動
액압여기동
CHINESE HYDRAULICS & PNEUMATICS
2007年
8期
50-52
,共3页
细长小孔%孔径%气动量仪%精密测量%精度分析
細長小孔%孔徑%氣動量儀%精密測量%精度分析
세장소공%공경%기동량의%정밀측량%정도분석
针对细长小孔孔径难以实现超精密测量这一问题,提出了一种应用气动量仪对细长小孔进行超精密测量的新方法,并根据气动量仪的测量特点,设计了细长小孔超精密自动测量系统,深入分析了该测量系统的精度影响因素.该系统由测量、运动控制和数据处理三部分组成,可实现对细长小孔的孔径、圆度和圆柱度等的非接触精密测量,测量精度可达0.5 μm.
針對細長小孔孔徑難以實現超精密測量這一問題,提齣瞭一種應用氣動量儀對細長小孔進行超精密測量的新方法,併根據氣動量儀的測量特點,設計瞭細長小孔超精密自動測量繫統,深入分析瞭該測量繫統的精度影響因素.該繫統由測量、運動控製和數據處理三部分組成,可實現對細長小孔的孔徑、圓度和圓柱度等的非接觸精密測量,測量精度可達0.5 μm.
침대세장소공공경난이실현초정밀측량저일문제,제출료일충응용기동량의대세장소공진행초정밀측량적신방법,병근거기동량의적측량특점,설계료세장소공초정밀자동측량계통,심입분석료해측량계통적정도영향인소.해계통유측량、운동공제화수거처리삼부분조성,가실현대세장소공적공경、원도화원주도등적비접촉정밀측량,측량정도가체0.5 μm.
