传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
513-516
,共4页
周吉龙%陈肯乐%张锦文%金玉丰
週吉龍%陳肯樂%張錦文%金玉豐
주길룡%진긍악%장금문%금옥봉
MEMS%真空封装%皮拉尼计%真空度测试
MEMS%真空封裝%皮拉尼計%真空度測試
MEMS%진공봉장%피랍니계%진공도측시
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件--微型MEMS皮拉尼计.皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1].本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版.其试验结果显示该皮拉尼计在10 Pa～300 Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系.
介紹瞭一種用于檢測真空密封腔體內真空度的器件--微型MEMS皮拉尼計.皮拉尼計是利用真空腔體內微小間隙間的熱傳導來檢測真空度的[1].本文設計瞭一種微型MEMS橫嚮皮拉尼計,結構非常簡單,併利用濃硼擴散和鍵閤技術實現瞭該橫嚮MEMS皮拉尼計,製造工藝僅需3張光刻版.其試驗結果顯示該皮拉尼計在10 Pa～300 Pa範圍內熱阻繫數與真空度呈很好的線性關繫.
개소료일충용우검측진공밀봉강체내진공도적기건--미형MEMS피랍니계.피랍니계시이용진공강체내미소간극간적열전도래검측진공도적[1].본문설계료일충미형MEMS횡향피랍니계,결구비상간단,병이용농붕확산화건합기술실현료해횡향MEMS피랍니계,제조공예부수3장광각판.기시험결과현시해피랍니계재10 Pa～300 Pa범위내열조계수여진공도정흔호적선성관계.
