工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2009年
10期
14-18
,共5页
王辉%梁红樱%张欣苑%赵海波%文季秋
王輝%樑紅櫻%張訢苑%趙海波%文季鞦
왕휘%량홍앵%장흔원%조해파%문계추
辅助增强磁控溅射%CrN薄膜%制备%方法
輔助增彊磁控濺射%CrN薄膜%製備%方法
보조증강자공천사%CrN박막%제비%방법
通过采用辅助增强磁控溅射方法,研究了在硬质合金刀片上制备TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工艺方法.利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电流、N2气量的变化对TiN-TiN/CrN-CrN膜的表面形貌及结构和织构影响,采用断续切削试验方法研究了TiN-TiN/CrN-CrN涂层刀片的耐磨性及抗剥落性,得出了一种TiN-TiN/CrN-CrN薄膜工业化制备方法.
通過採用輔助增彊磁控濺射方法,研究瞭在硬質閤金刀片上製備TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工藝方法.利用SEM、XRD等方法分析瞭Cr靶濺射電流、N2氣量的變化對TiN-TiN/CrN-CrN膜的錶麵形貌及結構和織構影響,採用斷續切削試驗方法研究瞭TiN-TiN/CrN-CrN塗層刀片的耐磨性及抗剝落性,得齣瞭一種TiN-TiN/CrN-CrN薄膜工業化製備方法.
통과채용보조증강자공천사방법,연구료재경질합금도편상제비TiN-TiN/CrN-CrN박막적공예방법.이용SEM、XRD등방법분석료Cr파천사전류、N2기량적변화대TiN-TiN/CrN-CrN막적표면형모급결구화직구영향,채용단속절삭시험방법연구료TiN-TiN/CrN-CrN도층도편적내마성급항박락성,득출료일충TiN-TiN/CrN-CrN박막공업화제비방법.
