红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
3期
724-728
,共5页
超精密车削%误差补偿%大相对孔径%泽尼克多项式
超精密車削%誤差補償%大相對孔徑%澤尼剋多項式
초정밀차삭%오차보상%대상대공경%택니극다항식
超精密车削误差补偿是提高超精密车削工艺水平的关键技术.首先对超精密车削中的各种误差进行了简单的分析与归纳,指出刀具刃口几何形状误差与机床导轨非线性误差具有相同的表现形式,可以通过车削零件的面形检测结果进行综合补偿.然后,提出了一种根据干涉仪检测结果对上述误差进行高精度补偿的方法,并进行了理论推导.最后的实验结果证明:基于面形误差泽尼克多项式球差及高级球差系数(最高到36项系数)对国产刀具刃口(波纹度误差大于0.2 μm)与机床(Nanotech UPL250)系统误差进行综合补偿的方法正确而高效,仅3次补偿循环,即可使一大相对口径实验球面件的面形误差收敛到PV=0.24λ,rms=0.021λ,符合理论推导及计算机模拟的分析.
超精密車削誤差補償是提高超精密車削工藝水平的關鍵技術.首先對超精密車削中的各種誤差進行瞭簡單的分析與歸納,指齣刀具刃口幾何形狀誤差與機床導軌非線性誤差具有相同的錶現形式,可以通過車削零件的麵形檢測結果進行綜閤補償.然後,提齣瞭一種根據榦涉儀檢測結果對上述誤差進行高精度補償的方法,併進行瞭理論推導.最後的實驗結果證明:基于麵形誤差澤尼剋多項式毬差及高級毬差繫數(最高到36項繫數)對國產刀具刃口(波紋度誤差大于0.2 μm)與機床(Nanotech UPL250)繫統誤差進行綜閤補償的方法正確而高效,僅3次補償循環,即可使一大相對口徑實驗毬麵件的麵形誤差收斂到PV=0.24λ,rms=0.021λ,符閤理論推導及計算機模擬的分析.
초정밀차삭오차보상시제고초정밀차삭공예수평적관건기술.수선대초정밀차삭중적각충오차진행료간단적분석여귀납,지출도구인구궤하형상오차여궤상도궤비선성오차구유상동적표현형식,가이통과차삭령건적면형검측결과진행종합보상.연후,제출료일충근거간섭의검측결과대상술오차진행고정도보상적방법,병진행료이론추도.최후적실험결과증명:기우면형오차택니극다항식구차급고급구차계수(최고도36항계수)대국산도구인구(파문도오차대우0.2 μm)여궤상(Nanotech UPL250)계통오차진행종합보상적방법정학이고효,부3차보상순배,즉가사일대상대구경실험구면건적면형오차수렴도PV=0.24λ,rms=0.021λ,부합이론추도급계산궤모의적분석.
