应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
4期
788-792
,共5页
袁晓峰%浦东林%申溯%陈林森
袁曉峰%浦東林%申溯%陳林森
원효봉%포동림%신소%진림삼
光学器件%数字微镜器件(DMD)%无掩膜光刻系统%相位调制%闪耀光栅
光學器件%數字微鏡器件(DMD)%無掩膜光刻繫統%相位調製%閃耀光柵
광학기건%수자미경기건(DMD)%무엄막광각계통%상위조제%섬요광책
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要.对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2％的情况,也有零0级光强占总光强13.10％的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化.这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值.
數字微鏡器件(DMD)的能量利用率對于提高無掩膜激光直寫繫統的效率十分重要.對DMD在相榦光照明下的相位調製特性進行數值和實驗分析,髮現同種型號DMD在齣射0級光垂直于微鏡錶麵角度入射情況下的衍射圖樣,其光能量分佈各不相同,有0級光彊佔總光彊27.2％的情況,也有零0級光彊佔總光彊13.10％的情況,理論計算錶明,DMD的微鏡偏轉角存在±1°的誤差可以使DMD衍射0級的衍射效率在極大和極小之間變化.這一結論對于選擇高能量利用效率的DMD有重要參攷價值.
수자미경기건(DMD)적능량이용솔대우제고무엄막격광직사계통적효솔십분중요.대DMD재상간광조명하적상위조제특성진행수치화실험분석,발현동충형호DMD재출사0급광수직우미경표면각도입사정황하적연사도양,기광능량분포각불상동,유0급광강점총광강27.2％적정황,야유령0급광강점총광강13.10％적정황,이론계산표명,DMD적미경편전각존재±1°적오차가이사DMD연사0급적연사효솔재겁대화겁소지간변화.저일결론대우선택고능량이용효솔적DMD유중요삼고개치.
