物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2000年
10期
41-42
,共2页
蒸发镀膜%改装%热丝CVD系统
蒸髮鍍膜%改裝%熱絲CVD繫統
증발도막%개장%열사CVD계통
通过重新设计和改造镀膜室,增添新引线和引进进气系统,将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD(化学气相沉积)系统.性能参数测试结果表明,改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求,能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,同时也完好地保留了原有真空镀膜的功能.
通過重新設計和改造鍍膜室,增添新引線和引進進氣繫統,將蒸髮鍍膜裝置改裝成新型熱絲CVD(化學氣相沉積)繫統.性能參數測試結果錶明,改裝後的裝置完全達到化學氣相沉積繫統的要求,能進行金剛石、BCN材料等物質的化學氣相沉積,同時也完好地保留瞭原有真空鍍膜的功能.
통과중신설계화개조도막실,증첨신인선화인진진기계통,장증발도막장치개장성신형열사CVD(화학기상침적)계통.성능삼수측시결과표명,개장후적장치완전체도화학기상침적계통적요구,능진행금강석、BCN재료등물질적화학기상침적,동시야완호지보류료원유진공도막적공능.
