真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
64-67
,共4页
王少鹏%潘晓龙%李争显%王宝云%严鹏%姬寿长
王少鵬%潘曉龍%李爭顯%王寶雲%嚴鵬%姬壽長
왕소붕%반효룡%리쟁현%왕보운%엄붕%희수장
电弧离子镀%TiAlN%组织%成分
電弧離子鍍%TiAlN%組織%成分
전호리자도%TiAlN%조직%성분
采用高纯铝、钛两个靶材,分别在纯钛TA2和钛合金TC11基材上沉积制备了TiAlN膜层.用扫描电子显微镜(SEM)观察了膜层的形貌、用能谱仪(EDS)分析了膜层的成分.结果表明:在不同基材上沉积的膜层表面形貌存在差异;两种工艺在不同的基材上沉积的膜层中N、Al和Ti元素呈梯度分布,可明显的观察到界面处存在这三种元素的互扩散,使膜层与基体间形成冶金结合.
採用高純鋁、鈦兩箇靶材,分彆在純鈦TA2和鈦閤金TC11基材上沉積製備瞭TiAlN膜層.用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭膜層的形貌、用能譜儀(EDS)分析瞭膜層的成分.結果錶明:在不同基材上沉積的膜層錶麵形貌存在差異;兩種工藝在不同的基材上沉積的膜層中N、Al和Ti元素呈梯度分佈,可明顯的觀察到界麵處存在這三種元素的互擴散,使膜層與基體間形成冶金結閤.
채용고순려、태량개파재,분별재순태TA2화태합금TC11기재상침적제비료TiAlN막층.용소묘전자현미경(SEM)관찰료막층적형모、용능보의(EDS)분석료막층적성분.결과표명:재불동기재상침적적막층표면형모존재차이;량충공예재불동적기재상침적적막층중N、Al화Ti원소정제도분포,가명현적관찰도계면처존재저삼충원소적호확산,사막층여기체간형성야금결합.
