CAJ | 학술논문

针对一种SiC材质的非回转对称非球面元件,本文介绍了该元件的加工和检测方法.该实验件的理想面形方程为z=3λ(X3-y3)(x,y为归一化坐标,λ=0.632 8μm),镜胚材料为Φ150 mm的SiC,加工方式为数控机床和手工研抛相结合.在加工过程中为提高加工效率缩短加工时间,选择平面作为最接近表面并认为去除了面形中的倾斜项.去倾斜之前最低点的材料去除量为3.8μm,而去倾斜后则为2.06μm.本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法.直接采用Zygo平面干涉仅检测工件,检测结果可以分为三部分:工件实际面形与理想面形的误差,工件理想面形与平面波前的误差和非共路误差.其中第二部分可以事先计算出来并转换为系统误差文件在检测过程中自动去除.通过在相同条件下检测一个已知的球面样板验证了非共路误差对于检测结果的影响可以忽略不计.由此在一次测量中可直接得到面形误差.实验结果表明,基于这种检测手段最后测得实验件的面形精度PV达到0.327λ,RMS优于0.025λ,达到设计要求.
침대일충SiC재질적비회전대칭비구면원건,본문개소료해원건적가공화검측방법.해실험건적이상면형방정위z=3λ(X3-y3)(x,y위귀일화좌표,λ=0.632 8μm),경배재료위Φ150 mm적SiC,가공방식위수공궤상화수공연포상결합.재가공과정중위제고가공효솔축단가공시간,선택평면작위최접근표면병인위거제료면형중적경사항.거경사지전최저점적재료거제량위3.8μm,이거경사후칙위2.06μm.본문제출료일충신적기우수자모판적비령위검측방법.직접채용Zygo평면간섭부검측공건,검측결과가이분위삼부분:공건실제면형여이상면형적오차,공건이상면형여평면파전적오차화비공로오차.기중제이부분가이사선계산출래병전환위계통오차문건재검측과정중자동거제.통과재상동조건하검측일개이지적구면양판험증료비공로오차대우검측결과적영향가이홀략불계.유차재일차측량중가직접득도면형오차.실험결과표명,기우저충검측수단최후측득실험건적면형정도PV체도0.327λ,RMS우우0.025λ,체도설계요구.