碲镉汞富碲垂直液相外延技术
제력홍부제수직액상외연기술
Te-RICH DIPPING TECHNIQUE OF HgCdTe LIQUID PHASE EPITAXY
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2009年 5期 325-329 ,共5页

    杨建荣%张传杰%方维政%魏彦锋%刘从峰%孙士文%陈晓静%徐庆庆%顾仁杰%陈新强

    양건영%장전걸%방유정%위언봉%류종봉%손사문%진효정%서경경%고인걸%진신강

    半导体技术%碲镉汞外延材料%液相外延%垂直浸渍外延 半導體技術%碲鎘汞外延材料%液相外延%垂直浸漬外延
    반도체기술%제력홍외연재료%액상외연%수직침지외연
    研究了碲镉汞富碲垂直液相外延技术.在研究该关键技术的过程中,提出了一种方法以检查外延前(Hg1-xCdx)1-yTey母液的均匀性.并且,通过减小生长腔体中的自由空间,对气体的对流和汞回流进行了抑制,及通过改进工艺过程中的温度控制方式来应对因对流和汞回流而造成的生长温度不确定性.在解决上述关键技术后,实现了碲镉汞垂直液相外延工艺的稳定性,所外延的中波碲镉汞材料的组分可重复性做到了±0.005,厚度控制能力达到了±5μm ,40×30mm2外延材料的横向组分均匀性(相对均方差)小于1.3×10-3,同生长批次材料片与片之间的组分和厚度差异分别小于0.001和1μm.在10mm线度上,表面起伏小于1μm.经热处理后,中波汞空位p型材料在77K下具有较高的空穴迁移率.另外,和水平推舟技术相比,垂直碲镉汞液相外延在提供大批量和大面积相同性能材料方面具有明显的优势,这对于二代碲镉汞红外焦平面批生产技术和拼接型超大规模红外焦平面技术的发展都具有重要的意义.
    연구료제력홍부제수직액상외연기술.재연구해관건기술적과정중,제출료일충방법이검사외연전(Hg1-xCdx)1-yTey모액적균균성.병차,통과감소생장강체중적자유공간,대기체적대류화홍회류진행료억제,급통과개진공예과정중적온도공제방식래응대인대류화홍회류이조성적생장온도불학정성.재해결상술관건기술후,실현료제력홍수직액상외연공예적은정성,소외연적중파제력홍재료적조분가중복성주도료±0.005,후도공제능력체도료±5μm ,40×30mm2외연재료적횡향조분균균성(상대균방차)소우1.3×10-3,동생장비차재료편여편지간적조분화후도차이분별소우0.001화1μm.재10mm선도상,표면기복소우1μm.경열처리후,중파홍공위p형재료재77K하구유교고적공혈천이솔.령외,화수평추주기술상비,수직제력홍액상외연재제공대비량화대면적상동성능재료방면구유명현적우세,저대우이대제력홍홍외초평면비생산기술화병접형초대규모홍외초평면기술적발전도구유중요적의의.
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