传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
8期
97-99
,共3页
周明军%程迎国%李慧颖%李凯%武强
週明軍%程迎國%李慧穎%李凱%武彊
주명군%정영국%리혜영%리개%무강
氧气传感器%极限电流%陶瓷共烧结%扩散孔
氧氣傳感器%極限電流%陶瓷共燒結%擴散孔
양기전감기%겁한전류%도자공소결%확산공
利用陶瓷共烧结技术研制了一种极限电流氧气传感器.这种传感器为一体式结构,制作工艺与传统工艺相比,无需玻璃封接工艺,就能实现良好的性能,提高了产品的可靠性,并大大降低了制作成本.所制得的传感器敏感芯体尺寸为4mm×7mm,厚度仅为0.4mm,并形成一个厚度约为50μm的内腔室,扩散孔直径约lOμm.传感器性能通过实验验证,功耗可以达到1.8W以下,能够测量体积分数为0%～90%的氧气,响应时间低于10s,测量误差在0.8%以内.
利用陶瓷共燒結技術研製瞭一種極限電流氧氣傳感器.這種傳感器為一體式結構,製作工藝與傳統工藝相比,無需玻璃封接工藝,就能實現良好的性能,提高瞭產品的可靠性,併大大降低瞭製作成本.所製得的傳感器敏感芯體呎吋為4mm×7mm,厚度僅為0.4mm,併形成一箇厚度約為50μm的內腔室,擴散孔直徑約lOμm.傳感器性能通過實驗驗證,功耗可以達到1.8W以下,能夠測量體積分數為0%～90%的氧氣,響應時間低于10s,測量誤差在0.8%以內.
이용도자공소결기술연제료일충겁한전류양기전감기.저충전감기위일체식결구,제작공예여전통공예상비,무수파리봉접공예,취능실현량호적성능,제고료산품적가고성,병대대강저료제작성본.소제득적전감기민감심체척촌위4mm×7mm,후도부위0.4mm,병형성일개후도약위50μm적내강실,확산공직경약lOμm.전감기성능통과실험험증,공모가이체도1.8W이하,능구측량체적분수위0%～90%적양기,향응시간저우10s,측량오차재0.8%이내.
