北京石油化工学院学报
北京石油化工學院學報
북경석유화공학원학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF PETRO-CHEMICAL TECHNOLOGY
2011年
2期
9-12
,共4页
朱江%佟帅%高德文%张志乾%颜炳嘉%孙凯%武光明
硃江%佟帥%高德文%張誌乾%顏炳嘉%孫凱%武光明
주강%동수%고덕문%장지건%안병가%손개%무광명
注射%超声%喷雾热分解%ZnO薄膜
註射%超聲%噴霧熱分解%ZnO薄膜
주사%초성%분무열분해%ZnO박막
以乙酸锌为原料加水合成ZnO前驱液,利用注射超声喷雾热分解方法在玻璃衬底上成功制备ZnO薄膜.通过正交选择液体注射速度、注射量、衬底温度、退火温度为实验要素,通过XRD、SEM、可见光透过率分析优化的制备条件为:液体注射速度为0.2 mL/min,注射量为3 mL,衬底温度为450℃,退火温度为500℃.制备的ZnO薄膜透光率达到85%.新的制备薄膜装置采用注射超声雾化手段,克服其雾化不均问题.
以乙痠鋅為原料加水閤成ZnO前驅液,利用註射超聲噴霧熱分解方法在玻璃襯底上成功製備ZnO薄膜.通過正交選擇液體註射速度、註射量、襯底溫度、退火溫度為實驗要素,通過XRD、SEM、可見光透過率分析優化的製備條件為:液體註射速度為0.2 mL/min,註射量為3 mL,襯底溫度為450℃,退火溫度為500℃.製備的ZnO薄膜透光率達到85%.新的製備薄膜裝置採用註射超聲霧化手段,剋服其霧化不均問題.
이을산자위원료가수합성ZnO전구액,이용주사초성분무열분해방법재파리츤저상성공제비ZnO박막.통과정교선택액체주사속도、주사량、츤저온도、퇴화온도위실험요소,통과XRD、SEM、가견광투과솔분석우화적제비조건위:액체주사속도위0.2 mL/min,주사량위3 mL,츤저온도위450℃,퇴화온도위500℃.제비적ZnO박막투광솔체도85%.신적제비박막장치채용주사초성무화수단,극복기무화불균문제.
