浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2011年
4期
571-574
,共4页
问明亮%周陈菊%杨成林%梁萍兰%席珍强
問明亮%週陳菊%楊成林%樑萍蘭%席珍彊
문명량%주진국%양성림%량평란%석진강
碳化硅薄膜%快速热处理%减反射%少子寿命
碳化硅薄膜%快速熱處理%減反射%少子壽命
탄화규박막%쾌속열처리%감반사%소자수명
使用PECVD在p型单晶硅衬底上沉积非晶碳化硅薄膜,研究快速热处理对薄膜的钝化性能和光学性能的影响.结果显示:随着热处理温度从450℃升高到850℃,薄膜厚度迅速减小；在650℃及以下温度进行热处理后折射率基本不变,但温度继续上升折射率迅速上升；同时热处理对薄膜的厚度和折射率的影响能在很短时间内完成,使薄膜迅速致密化.在低于750℃热处理时,衬底少子寿命增加,在热处理温度高于750℃后少子寿命急剧下降.碳化硅薄膜的反射率在快速热处理之后基本不变.
使用PECVD在p型單晶硅襯底上沉積非晶碳化硅薄膜,研究快速熱處理對薄膜的鈍化性能和光學性能的影響.結果顯示:隨著熱處理溫度從450℃升高到850℃,薄膜厚度迅速減小；在650℃及以下溫度進行熱處理後摺射率基本不變,但溫度繼續上升摺射率迅速上升；同時熱處理對薄膜的厚度和摺射率的影響能在很短時間內完成,使薄膜迅速緻密化.在低于750℃熱處理時,襯底少子壽命增加,在熱處理溫度高于750℃後少子壽命急劇下降.碳化硅薄膜的反射率在快速熱處理之後基本不變.
사용PECVD재p형단정규츤저상침적비정탄화규박막,연구쾌속열처리대박막적둔화성능화광학성능적영향.결과현시:수착열처리온도종450℃승고도850℃,박막후도신속감소；재650℃급이하온도진행열처리후절사솔기본불변,단온도계속상승절사솔신속상승；동시열처리대박막적후도화절사솔적영향능재흔단시간내완성,사박막신속치밀화.재저우750℃열처리시,츤저소자수명증가,재열처리온도고우750℃후소자수명급극하강.탄화규박막적반사솔재쾌속열처리지후기본불변.
