仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
9期
2108-2113
,共6页
共焦检测%数字微镜器件%并行扫描%重像干扰%分光片
共焦檢測%數字微鏡器件%併行掃描%重像榦擾%分光片
공초검측%수자미경기건%병행소묘%중상간우%분광편
单点式共焦显微镜由于扫描速度低,光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替.现有的并行扫描方式同样存在一些缺点,限制了测量精度的进一步提高.本文研究了基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的多路并行共焦显微镜.利用计算机程序控制DMD芯片上微镜的偏转状态,从而对光源进行调制,形成多路光束,其作用相当于可以控制的虚拟针孔阵列.设计了基于DMD的共焦检测光路,采用分光片的方法解决了由于分光棱镜内表面反射造成的重像干扰问题.对所搭建的光路进行了深度响应曲线测试实验,并且建立了基于DMD的共焦显微镜样机.样机的测量实验结果表明:基于DMD的共焦显微镜不仅具有较高的分辨率,并且具有扫描速度快、测量范围大的优点.
單點式共焦顯微鏡由于掃描速度低,光能利用率不高逐漸被多點併行的掃描方式代替.現有的併行掃描方式同樣存在一些缺點,限製瞭測量精度的進一步提高.本文研究瞭基于數字微鏡器件(digital micromirror device,DMD)的多路併行共焦顯微鏡.利用計算機程序控製DMD芯片上微鏡的偏轉狀態,從而對光源進行調製,形成多路光束,其作用相噹于可以控製的虛擬針孔陣列.設計瞭基于DMD的共焦檢測光路,採用分光片的方法解決瞭由于分光稜鏡內錶麵反射造成的重像榦擾問題.對所搭建的光路進行瞭深度響應麯線測試實驗,併且建立瞭基于DMD的共焦顯微鏡樣機.樣機的測量實驗結果錶明:基于DMD的共焦顯微鏡不僅具有較高的分辨率,併且具有掃描速度快、測量範圍大的優點.
단점식공초현미경유우소묘속도저,광능이용솔불고축점피다점병행적소묘방식대체.현유적병행소묘방식동양존재일사결점,한제료측량정도적진일보제고.본문연구료기우수자미경기건(digital micromirror device,DMD)적다로병행공초현미경.이용계산궤정서공제DMD심편상미경적편전상태,종이대광원진행조제,형성다로광속,기작용상당우가이공제적허의침공진렬.설계료기우DMD적공초검측광로,채용분광편적방법해결료유우분광릉경내표면반사조성적중상간우문제.대소탑건적광로진행료심도향응곡선측시실험,병차건립료기우DMD적공초현미경양궤.양궤적측량실험결과표명:기우DMD적공초현미경불부구유교고적분변솔,병차구유소묘속도쾌、측량범위대적우점.
