太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2012年
1期
68-72
,共5页
丁迪%张贵锋%冯煜东%侯晓多
丁迪%張貴鋒%馮煜東%侯曉多
정적%장귀봉%풍욱동%후효다
磁控溅射%物理气相沉积%AlN薄膜%选择性吸收膜
磁控濺射%物理氣相沉積%AlN薄膜%選擇性吸收膜
자공천사%물리기상침적%AlN박막%선택성흡수막
采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜.借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性.结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好；W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80％以上.
採用磁控濺射方法,在高純氬氣和氮氣混閤氣氛下成功製備齣Al(W)-AlN繫太暘能選擇性吸收薄膜.藉助吸收光譜分析,比較瞭Al、W兩種反射層材料上製備單層AlN和多層AlN薄膜的光譜吸收特性.結果錶明:多層AlN薄膜比單層AlN薄膜的吸收性能好；W比Al更適閤做反射麵材料,W-漸變型多層AlN膜繫對太暘能的吸收率可達到80％以上.
채용자공천사방법,재고순아기화담기혼합기분하성공제비출Al(W)-AlN계태양능선택성흡수박막.차조흡수광보분석,비교료Al、W량충반사층재료상제비단층AlN화다층AlN박막적광보흡수특성.결과표명:다층AlN박막비단층AlN박막적흡수성능호；W비Al경괄합주반사면재료,W-점변형다층AlN막계대태양능적흡수솔가체도80％이상.
