强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
1期
29-32
,共4页
余文峰%孙峰%程祖海%刘倚红%周次明%张耀宁
餘文峰%孫峰%程祖海%劉倚紅%週次明%張耀寧
여문봉%손봉%정조해%류의홍%주차명%장요저
高功率激光器%热变形%镜面偏转%夹持方式
高功率激光器%熱變形%鏡麵偏轉%夾持方式
고공솔격광기%열변형%경면편전%협지방식
在高功率激光辐照下,激光腔镜的夹持方式对热变形和偏转有很大影响.在理论上,采用ANSYS软件计算了硅镜(φ80 mm×12.5 mm),在特定辐照条件(100 W,φ40 mm、均匀、同轴、5 s)下的不同夹持方式下的热变形,径向固定的热变形镜面峰谷值(0.109 3 μm)小于轴向固定的热变形峰谷值(0.138 8 μm),三点固定的(0.121 μm)介于二者之间.在实验上,硅镜(φ75 mm×12.5 mm)在特定辐照条件(100 W、光斑椭圆17 mm×20 mm,5 s)下,压圈法(径向固定)的热变形为0.32 μm,镜面倾斜角为0.63 μrad;压板法(轴向固定)的热变形0.49 μm,镜面倾斜角为0.28 μrad.当采用三点锥孔定位法时,通过干涉条纹可发现镜面偏转减少.
在高功率激光輻照下,激光腔鏡的夾持方式對熱變形和偏轉有很大影響.在理論上,採用ANSYS軟件計算瞭硅鏡(φ80 mm×12.5 mm),在特定輻照條件(100 W,φ40 mm、均勻、同軸、5 s)下的不同夾持方式下的熱變形,徑嚮固定的熱變形鏡麵峰穀值(0.109 3 μm)小于軸嚮固定的熱變形峰穀值(0.138 8 μm),三點固定的(0.121 μm)介于二者之間.在實驗上,硅鏡(φ75 mm×12.5 mm)在特定輻照條件(100 W、光斑橢圓17 mm×20 mm,5 s)下,壓圈法(徑嚮固定)的熱變形為0.32 μm,鏡麵傾斜角為0.63 μrad;壓闆法(軸嚮固定)的熱變形0.49 μm,鏡麵傾斜角為0.28 μrad.噹採用三點錐孔定位法時,通過榦涉條紋可髮現鏡麵偏轉減少.
재고공솔격광복조하,격광강경적협지방식대열변형화편전유흔대영향.재이론상,채용ANSYS연건계산료규경(φ80 mm×12.5 mm),재특정복조조건(100 W,φ40 mm、균균、동축、5 s)하적불동협지방식하적열변형,경향고정적열변형경면봉곡치(0.109 3 μm)소우축향고정적열변형봉곡치(0.138 8 μm),삼점고정적(0.121 μm)개우이자지간.재실험상,규경(φ75 mm×12.5 mm)재특정복조조건(100 W、광반타원17 mm×20 mm,5 s)하,압권법(경향고정)적열변형위0.32 μm,경면경사각위0.63 μrad;압판법(축향고정)적열변형0.49 μm,경면경사각위0.28 μrad.당채용삼점추공정위법시,통과간섭조문가발현경면편전감소.
