洁净与空调技术
潔淨與空調技術
길정여공조기술
CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
2005年
3期
1-6,11
,共7页
洁净室气流%洁净度
潔淨室氣流%潔淨度
길정실기류%길정도
通过室内的粉尘浓度,即重视清净度的LCD制造工厂为研究场所,使用垂直层流方式的产业用洁净室(I.C.R:Industrial Clean Room)内进行现场实测与数据分析,得出结论:第一,证明现有的现场条件与洁净室的环境数据分析结果相同;第二,找出给气流变化重大影响的因素,掌握它们的特性;第三,为保持最适用的洁净室,对气流变化的预测提供基础资料.
通過室內的粉塵濃度,即重視清淨度的LCD製造工廠為研究場所,使用垂直層流方式的產業用潔淨室(I.C.R:Industrial Clean Room)內進行現場實測與數據分析,得齣結論:第一,證明現有的現場條件與潔淨室的環境數據分析結果相同;第二,找齣給氣流變化重大影響的因素,掌握它們的特性;第三,為保持最適用的潔淨室,對氣流變化的預測提供基礎資料.
통과실내적분진농도,즉중시청정도적LCD제조공엄위연구장소,사용수직층류방식적산업용길정실(I.C.R:Industrial Clean Room)내진행현장실측여수거분석,득출결론:제일,증명현유적현장조건여길정실적배경수거분석결과상동;제이,조출급기류변화중대영향적인소,장악타문적특성;제삼,위보지최괄용적길정실,대기류변화적예측제공기출자료.
