稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
z1期
447-450
,共4页
苏葆辉%何子博%冉均国%苟立%王方瑚
囌葆輝%何子博%冉均國%茍立%王方瑚
소보휘%하자박%염균국%구립%왕방호
聚碳酸脂%等离子体化学气相沉积%类金刚石膜%耐磨性能
聚碳痠脂%等離子體化學氣相沉積%類金剛石膜%耐磨性能
취탄산지%등리자체화학기상침적%류금강석막%내마성능
采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)法在聚碳酸酯(PC)表面沉积类金刚石(DLC)薄膜.研究了功率、气体浓度和沉积时间等条件对薄膜性能的影响,优化了工艺条件;用X射线光电子能谱测定了薄膜的组成;评价了薄膜的耐磨性能和附着性能.结果表明:PC镜片表面沉积附着性好的DLC薄膜能提高材料表面的耐磨性能.
採用射頻輝光放電等離子體化學氣相沉積(RF-PCVD)法在聚碳痠酯(PC)錶麵沉積類金剛石(DLC)薄膜.研究瞭功率、氣體濃度和沉積時間等條件對薄膜性能的影響,優化瞭工藝條件;用X射線光電子能譜測定瞭薄膜的組成;評價瞭薄膜的耐磨性能和附著性能.結果錶明:PC鏡片錶麵沉積附著性好的DLC薄膜能提高材料錶麵的耐磨性能.
채용사빈휘광방전등리자체화학기상침적(RF-PCVD)법재취탄산지(PC)표면침적류금강석(DLC)박막.연구료공솔、기체농도화침적시간등조건대박막성능적영향,우화료공예조건;용X사선광전자능보측정료박막적조성;평개료박막적내마성능화부착성능.결과표명:PC경편표면침적부착성호적DLC박막능제고재료표면적내마성능.
