有色金属
有色金屬
유색금속
NONFERROUS METALS
2007年
3期
17-20
,共4页
苏清磊%董伟伟%陶汝华%邓赞红%方晓东
囌清磊%董偉偉%陶汝華%鄧讚紅%方曉東
소청뢰%동위위%도여화%산찬홍%방효동
材料合成与加工工艺%ZnO薄膜%脉冲激光沉积%表面形貌%光致发光
材料閤成與加工工藝%ZnO薄膜%脈遲激光沉積%錶麵形貌%光緻髮光
재료합성여가공공예%ZnO박막%맥충격광침적%표면형모%광치발광
采用脉冲激光沉积法在蓝宝石(001)衬底上沉积ZnO薄膜,研究衬底温度、激光能量和氧气压力对样品结构和表面形貌以及光致发光的影响.X射线衍射(XRD)表明,在沉积温度范围内(600～900℃)所有样品都具有c轴高度择优取向.扫描电镜(SEM)的测试结果表明,激光能量和氧气压力对薄膜表面形貌的影响显著.在所有样品的室温光致发光谱(PL)均观察到单一 的380nm紫外光发射,深能级发射被强烈抑制.
採用脈遲激光沉積法在藍寶石(001)襯底上沉積ZnO薄膜,研究襯底溫度、激光能量和氧氣壓力對樣品結構和錶麵形貌以及光緻髮光的影響.X射線衍射(XRD)錶明,在沉積溫度範圍內(600～900℃)所有樣品都具有c軸高度擇優取嚮.掃描電鏡(SEM)的測試結果錶明,激光能量和氧氣壓力對薄膜錶麵形貌的影響顯著.在所有樣品的室溫光緻髮光譜(PL)均觀察到單一 的380nm紫外光髮射,深能級髮射被彊烈抑製.
채용맥충격광침적법재람보석(001)츤저상침적ZnO박막,연구츤저온도、격광능량화양기압력대양품결구화표면형모이급광치발광적영향.X사선연사(XRD)표명,재침적온도범위내(600～900℃)소유양품도구유c축고도택우취향.소묘전경(SEM)적측시결과표명,격광능량화양기압력대박막표면형모적영향현저.재소유양품적실온광치발광보(PL)균관찰도단일 적380nm자외광발사,심능급발사피강렬억제.
