河南科技大学学报(自然科学版)
河南科技大學學報(自然科學版)
하남과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2008年
4期
77-81
,共5页
隧道效应%反馈控制电路%PI控制算法
隧道效應%反饋控製電路%PI控製算法
수도효응%반궤공제전로%PI공제산법
针对扫描隧道效应对环境的苛刻要求,旨在设计一种主动隔振系统提高STM工作的稳定性,主要基于隧道效应的原理搭建闭环控制系统,主动适时的响应和补偿振动的干扰.硬件部分包括以DSP为核心的高速精确的测控电路,软件部分解决了数字滤波和PI控制算法在提高控制性能上的关键问题.并利用仿真现象和实验结果进行控制特性和动态响应的分析,证明其良好的实时控制效果.
針對掃描隧道效應對環境的苛刻要求,旨在設計一種主動隔振繫統提高STM工作的穩定性,主要基于隧道效應的原理搭建閉環控製繫統,主動適時的響應和補償振動的榦擾.硬件部分包括以DSP為覈心的高速精確的測控電路,軟件部分解決瞭數字濾波和PI控製算法在提高控製性能上的關鍵問題.併利用倣真現象和實驗結果進行控製特性和動態響應的分析,證明其良好的實時控製效果.
침대소묘수도효응대배경적가각요구,지재설계일충주동격진계통제고STM공작적은정성,주요기우수도효응적원리탑건폐배공제계통,주동괄시적향응화보상진동적간우.경건부분포괄이DSP위핵심적고속정학적측공전로,연건부분해결료수자려파화PI공제산법재제고공제성능상적관건문제.병이용방진현상화실험결과진행공제특성화동태향응적분석,증명기량호적실시공제효과.