固体火箭技术
固體火箭技術
고체화전기술
JOURNAL OF SOLID ROCKET TECHNOLOGY
2008年
4期
397-402
,共6页
涂建勇%刘永胜%成来飞%张立同%杨文彬%徐永东%张伟华
塗建勇%劉永勝%成來飛%張立同%楊文彬%徐永東%張偉華
도건용%류영성%성래비%장립동%양문빈%서영동%장위화
硼掺碳涂层%化学气相沉积(CVD)%稀释气体%形貌组成
硼摻碳塗層%化學氣相沉積(CVD)%稀釋氣體%形貌組成
붕참탄도층%화학기상침적(CVD)%희석기체%형모조성
以BCl3-C3H6-H2为气相反应体系,采用低压化学气相沉积制备硼掺碳涂层.研究了Ar气稀释流量对硼掺碳涂层沉积速度、形貌、组成和键合状态的影响.结果表明,不同稀释气体流量作用下,硼掺碳的沉积速度没有明显变化,产物形貌由致密向层状转变,硼元素含量稍有减少而碳元素含量稍有增加.沉积产物中B元素的键合方式以B-sub-C和BC2O为主.结合化学反应和气体扩散,探讨了稀释气体的作用机制,表明PyC形成反应的主导作用导致稀释气体流量对沉积速度作用不明显,而BCl3和C3H6在Ar气中扩散系数的差异导致产物形貌和组成发生变化.
以BCl3-C3H6-H2為氣相反應體繫,採用低壓化學氣相沉積製備硼摻碳塗層.研究瞭Ar氣稀釋流量對硼摻碳塗層沉積速度、形貌、組成和鍵閤狀態的影響.結果錶明,不同稀釋氣體流量作用下,硼摻碳的沉積速度沒有明顯變化,產物形貌由緻密嚮層狀轉變,硼元素含量稍有減少而碳元素含量稍有增加.沉積產物中B元素的鍵閤方式以B-sub-C和BC2O為主.結閤化學反應和氣體擴散,探討瞭稀釋氣體的作用機製,錶明PyC形成反應的主導作用導緻稀釋氣體流量對沉積速度作用不明顯,而BCl3和C3H6在Ar氣中擴散繫數的差異導緻產物形貌和組成髮生變化.
이BCl3-C3H6-H2위기상반응체계,채용저압화학기상침적제비붕참탄도층.연구료Ar기희석류량대붕참탄도층침적속도、형모、조성화건합상태적영향.결과표명,불동희석기체류량작용하,붕참탄적침적속도몰유명현변화,산물형모유치밀향층상전변,붕원소함량초유감소이탄원소함량초유증가.침적산물중B원소적건합방식이B-sub-C화BC2O위주.결합화학반응화기체확산,탐토료희석기체적작용궤제,표명PyC형성반응적주도작용도치희석기체류량대침적속도작용불명현,이BCl3화C3H6재Ar기중확산계수적차이도치산물형모화조성발생변화.
