光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
3期
688-696
,共9页
刘东%杨甬英%田超%翁俊淼%卓永模%杨李茗
劉東%楊甬英%田超%翁俊淼%卓永模%楊李茗
류동%양용영%전초%옹준묘%탁영모%양리명
非球面检测%非零位检测%回程误差%误差校正
非毬麵檢測%非零位檢測%迴程誤差%誤差校正
비구면검측%비령위검측%회정오차%오차교정
光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测.由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面面形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差).分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回程误差与被测非球面门径、相对口径以及非球面本身面形误差均紧密相关的结论.针对回程误差的表现形式,提出了有效校正回程误差的方法.计算机仿真及检测实验结果均表明,该方法可以较好地解决非球面非零位检测中的回程误差问题.针对非球面非零位检测中回程误差问题所做的分析以及提出的相应校正方法,有利于非球面非零位法检测精度的提高和系统的广泛应用.
光學測試中常用非零位法來對非毬麵進行初步檢測.由于非零位法偏離瞭零位條件,導緻檢測得到的被測非毬麵麵形與其真實麵形存在一定程度的偏差(稱之為迴程誤差).分析瞭非毬麵非零位檢測繫統中的迴程誤差問題,得齣瞭迴程誤差與被測非毬麵門徑、相對口徑以及非毬麵本身麵形誤差均緊密相關的結論.針對迴程誤差的錶現形式,提齣瞭有效校正迴程誤差的方法.計算機倣真及檢測實驗結果均錶明,該方法可以較好地解決非毬麵非零位檢測中的迴程誤差問題.針對非毬麵非零位檢測中迴程誤差問題所做的分析以及提齣的相應校正方法,有利于非毬麵非零位法檢測精度的提高和繫統的廣汎應用.
광학측시중상용비령위법래대비구면진행초보검측.유우비령위법편리료령위조건,도치검측득도적피측비구면면형여기진실면형존재일정정도적편차(칭지위회정오차).분석료비구면비령위검측계통중적회정오차문제,득출료회정오차여피측비구면문경、상대구경이급비구면본신면형오차균긴밀상관적결론.침대회정오차적표현형식,제출료유효교정회정오차적방법.계산궤방진급검측실험결과균표명,해방법가이교호지해결비구면비령위검측중적회정오차문제.침대비구면비령위검측중회정오차문제소주적분석이급제출적상응교정방법,유리우비구면비령위법검측정도적제고화계통적엄범응용.
