压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
2期
257-261
,共5页
徐伟%王炅%陆静%聂伟荣%方治森
徐偉%王炅%陸靜%聶偉榮%方治森
서위%왕경%륙정%섭위영%방치삼
引信%射流发电机%微机电系统(MEMS)%压电膜片%流固耦合(FSI)
引信%射流髮電機%微機電繫統(MEMS)%壓電膜片%流固耦閤(FSI)
인신%사류발전궤%미궤전계통(MEMS)%압전막편%류고우합(FSI)
针对目前引信用压电式气流谐振发电机体积大,压电膜片难以达到谐振状态,且有输出电压低等缺点,结合常用射流发电机原理和微机电系统(MEMS)制造工艺,提出了一种MEMS压电式射流发电机,其以悬臂梁式压电膜片代替压电膜片结构发电,并通过双向流固耦合分析及压电仿真等对发电机的性能进行了验证,结果表明,MEMS压电式射流发电机可满足低功耗引信使用,且具有结构简单,体积小,输出电压高等特点.
針對目前引信用壓電式氣流諧振髮電機體積大,壓電膜片難以達到諧振狀態,且有輸齣電壓低等缺點,結閤常用射流髮電機原理和微機電繫統(MEMS)製造工藝,提齣瞭一種MEMS壓電式射流髮電機,其以懸臂樑式壓電膜片代替壓電膜片結構髮電,併通過雙嚮流固耦閤分析及壓電倣真等對髮電機的性能進行瞭驗證,結果錶明,MEMS壓電式射流髮電機可滿足低功耗引信使用,且具有結構簡單,體積小,輸齣電壓高等特點.
침대목전인신용압전식기류해진발전궤체적대,압전막편난이체도해진상태,차유수출전압저등결점,결합상용사류발전궤원리화미궤전계통(MEMS)제조공예,제출료일충MEMS압전식사류발전궤,기이현비량식압전막편대체압전막편결구발전,병통과쌍향류고우합분석급압전방진등대발전궤적성능진행료험증,결과표명,MEMS압전식사류발전궤가만족저공모인신사용,차구유결구간단,체적소,수출전압고등특점.
