压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2000年
3期
168-172
,共5页
程光明%杨志刚%曾平%吴博达%广濑精二%铃木胜仁
程光明%楊誌剛%曾平%吳博達%廣瀨精二%鈴木勝仁
정광명%양지강%증평%오박체%엄뢰정이%령목성인
压电驱动机构%压电流体泵%多自由度压电马达%压电超声减摩机构
壓電驅動機構%壓電流體泵%多自由度壓電馬達%壓電超聲減摩機構
압전구동궤구%압전류체빙%다자유도압전마체%압전초성감마궤구
介绍了所研制的新型压电流体泵、多自由度压电马达、压电超声减摩机构等新型压电驱动机构的基本原理、试验样机的结构及研究现状.
介紹瞭所研製的新型壓電流體泵、多自由度壓電馬達、壓電超聲減摩機構等新型壓電驅動機構的基本原理、試驗樣機的結構及研究現狀.
개소료소연제적신형압전류체빙、다자유도압전마체、압전초성감마궤구등신형압전구동궤구적기본원리、시험양궤적결구급연구현상.
