中国钨业
中國鎢業
중국오업
CHINA TUNGSTEN INDUSTRY
2006年
4期
38-40
,共3页
闫波%孙彦平%王俊文%陈新谋
閆波%孫彥平%王俊文%陳新謀
염파%손언평%왕준문%진신모
高频等离子体%化学气相沉积%纳米粉体%碳化钨
高頻等離子體%化學氣相沉積%納米粉體%碳化鎢
고빈등리자체%화학기상침적%납미분체%탄화오
以WCl6+H2+C2H2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备了纳米级碳化钨(WC)粉体,用HRTEM(高分辨率透射显微镜)、XRD(X光衍射)表征了WC粉体的形貌和物相组成,粉体为以WC为主体、W2C和WC1-x的多相共存的混合体,微粒呈近球形与少量棱柱形混合体,粒径范围为50～100nm,平均粒径为70nm.
以WCl6+H2+C2H2為反應體繫,採用高頻等離子化學氣相沉積法(RF-PCVD)製備瞭納米級碳化鎢(WC)粉體,用HRTEM(高分辨率透射顯微鏡)、XRD(X光衍射)錶徵瞭WC粉體的形貌和物相組成,粉體為以WC為主體、W2C和WC1-x的多相共存的混閤體,微粒呈近毬形與少量稜柱形混閤體,粒徑範圍為50～100nm,平均粒徑為70nm.
이WCl6+H2+C2H2위반응체계,채용고빈등리자화학기상침적법(RF-PCVD)제비료납미급탄화오(WC)분체,용HRTEM(고분변솔투사현미경)、XRD(X광연사)표정료WC분체적형모화물상조성,분체위이WC위주체、W2C화WC1-x적다상공존적혼합체,미립정근구형여소량릉주형혼합체,립경범위위50～100nm,평균립경위70nm.
