过程工程学报
過程工程學報
과정공정학보
The Chinese Journal of Process Engineering
2006年
z2期
333-337
,共5页
方昭训%郑文凯%赖思宇%陈锦山
方昭訓%鄭文凱%賴思宇%陳錦山
방소훈%정문개%뢰사우%진금산
颗粒合金薄膜%磁阻
顆粒閤金薄膜%磁阻
과립합금박막%자조
利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率高达4%.
利用直流與射頻磁控濺鍍在二氧化硅基闆上共沉積製作Co-Ti-O顆粒閤金單層薄膜,併通過適噹熱處理,使薄膜為Co及TiOx混閤結晶相.單層顆粒閤金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2試片經1000 ℃熱處理10 min,磁阻率為0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2試片經1000 ℃熱處理10 min,磁阻率高達4%.
이용직류여사빈자공천도재이양화규기판상공침적제작Co-Ti-O과립합금단층박막,병통과괄당열처리,사박막위Co급TiOx혼합결정상.단층과립합금박막Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2시편경1000 ℃열처리10 min,자조솔위0.8%,이Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2시편경1000 ℃열처리10 min,자조솔고체4%.
