新型炭材料
新型炭材料
신형탄재료
NEW CARBON MATERIALS
2007年
2期
183-187
,共5页
李明吉%吕宪义%孙宝茹%李春燕%李博%金曾孙
李明吉%呂憲義%孫寶茹%李春燕%李博%金曾孫
리명길%려헌의%손보여%리춘연%리박%금증손
金刚石膜%EA-CVD方法%膜品质%氮杂质
金剛石膜%EA-CVD方法%膜品質%氮雜質
금강석막%EA-CVD방법%막품질%담잡질
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态.结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的"菜花状",且非晶碳的含量增加,品质下降.金刚石膜中氮以Ns0、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,在较低氮气流量下[N-V]0和[N-V]-1的含量较多,Ns0氮杂质的质量分数在1.50×10-～4.83×10-4之间变化.
採用電子輔助化學氣相沉積法(EA-CVD)製備瞭氮摻雜金剛石膜,用SEM、Raman光譜、XPS、EPR等測試手段研究瞭金剛石薄膜的品質和膜中的氮雜質狀態.結果錶明,隨著氮氣流量的增加,金剛石膜的形貌從完整的晶麵逐漸變為與(100)麵共存的"菜花狀",且非晶碳的含量增加,品質下降.金剛石膜中氮以Ns0、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,在較低氮氣流量下[N-V]0和[N-V]-1的含量較多,Ns0氮雜質的質量分數在1.50×10-～4.83×10-4之間變化.
채용전자보조화학기상침적법(EA-CVD)제비료담참잡금강석막,용SEM、Raman광보、XPS、EPR등측시수단연구료금강석박막적품질화막중적담잡질상태.결과표명,수착담기류량적증가,금강석막적형모종완정적정면축점변위여(100)면공존적"채화상",차비정탄적함량증가,품질하강.금강석막중담이Ns0、[N-V]0화[N-V]-1적형식존재,재교저담기류량하[N-V]0화[N-V]-1적함량교다,Ns0담잡질적질량분수재1.50×10-～4.83×10-4지간변화.
