哈尔滨工程大学学报
哈爾濱工程大學學報
합이빈공정대학학보
JOURNAL OF HARBIN ENGINEERING UNIVERSITY
2007年
6期
715-718
,共4页
王政平%马任德%张国生%王成
王政平%馬任德%張國生%王成
왕정평%마임덕%장국생%왕성
计算方法%电子辐照%二氧化硅%能量沉积
計算方法%電子輻照%二氧化硅%能量沉積
계산방법%전자복조%이양화규%능량침적
将二氧化硅分子等价成一个原子,以其等价原子序数和原子量为主要参量建立了一个系统的能量沉积计算体系,仿真计算了0.1～1 MeV平行平面电子束垂直辐照二氧化硅时的能量沉积.因计算需要定义了2个新函数Q(z)和W(z),分别用来描述电子能量和数量传输系数的变化快慢,对其的仿真结果可直观地描述电子在二氧化硅中的沉积规律.该研究结果可为研究电子辐照二氧化硅时的最佳能量选择提供参考.
將二氧化硅分子等價成一箇原子,以其等價原子序數和原子量為主要參量建立瞭一箇繫統的能量沉積計算體繫,倣真計算瞭0.1～1 MeV平行平麵電子束垂直輻照二氧化硅時的能量沉積.因計算需要定義瞭2箇新函數Q(z)和W(z),分彆用來描述電子能量和數量傳輸繫數的變化快慢,對其的倣真結果可直觀地描述電子在二氧化硅中的沉積規律.該研究結果可為研究電子輻照二氧化硅時的最佳能量選擇提供參攷.
장이양화규분자등개성일개원자,이기등개원자서수화원자량위주요삼량건립료일개계통적능량침적계산체계,방진계산료0.1～1 MeV평행평면전자속수직복조이양화규시적능량침적.인계산수요정의료2개신함수Q(z)화W(z),분별용래묘술전자능량화수량전수계수적변화쾌만,대기적방진결과가직관지묘술전자재이양화규중적침적규률.해연구결과가위연구전자복조이양화규시적최가능량선택제공삼고.
