微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
282-284
,共3页
陈德勇%陈健%毋正伟%王军波%陈李
陳德勇%陳健%毌正偉%王軍波%陳李
진덕용%진건%무정위%왕군파%진리
谐振加速度计%微杠杠结构%差分输出
諧振加速度計%微槓槓結構%差分輸齣
해진가속도계%미강강결구%차분수출
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作.模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等.
為瞭提高諧振加速度計的靈敏度以及穩定性,提齣一種基于微槓桿力學放大機構的硅樑諧振式加速度計結構,併對其進行瞭有限元模擬分析.該加速度計由兩箇靜電激勵電容檢測的硅諧振樑組成差分輸齣,採用硅深刻蝕以及硅玻璃暘極鍵閤等體硅工藝製作.模擬結果錶明新結構提高瞭加速度計靈敏度,有效改善瞭交扠靈敏度、線性度、溫度穩定性等.
위료제고해진가속도계적령민도이급은정성,제출일충기우미강간역학방대궤구적규량해진식가속도계결구,병대기진행료유한원모의분석.해가속도계유량개정전격려전용검측적규해진량조성차분수출,채용규심각식이급규파리양겁건합등체규공예제작.모의결과표명신결구제고료가속도계령민도,유효개선료교차령민도、선성도、온도은정성등.
