太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
5期
698-703
,共6页
韩安军%张建军%李林娜%张洪%刘彩池%耿新华%赵颖
韓安軍%張建軍%李林娜%張洪%劉綵池%耿新華%趙穎
한안군%장건군%리림나%장홍%류채지%경신화%조영
中频脉冲磁控溅射%衬底温度%铝背反射电极%表面形貌
中頻脈遲磁控濺射%襯底溫度%鋁揹反射電極%錶麵形貌
중빈맥충자공천사%츤저온도%려배반사전겁%표면형모
采用中频脉冲磁控溅射在不同衬底温度下制备了太阳电池铝背反射电极,利用X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜晶体结构,用X射线光电子谱仪(XPS)分析薄膜的成分,用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌和粗糙度,用分光光度计研究薄膜的反射率.研究发现随衬底温度升高,薄膜中氧含量增加,晶体结构变为混合晶面取向,晶化率降低,表面粗糙度增大,反射率下降.将其应用到NIP非晶硅薄膜太阳电池中,在衬底温度为300℃时,得到了5.6%的电池转换效率.
採用中頻脈遲磁控濺射在不同襯底溫度下製備瞭太暘電池鋁揹反射電極,利用X射線衍射儀(XRD)研究瞭薄膜晶體結構,用X射線光電子譜儀(XPS)分析薄膜的成分,用原子力顯微鏡(AFM)觀察薄膜錶麵形貌和粗糙度,用分光光度計研究薄膜的反射率.研究髮現隨襯底溫度升高,薄膜中氧含量增加,晶體結構變為混閤晶麵取嚮,晶化率降低,錶麵粗糙度增大,反射率下降.將其應用到NIP非晶硅薄膜太暘電池中,在襯底溫度為300℃時,得到瞭5.6%的電池轉換效率.
채용중빈맥충자공천사재불동츤저온도하제비료태양전지려배반사전겁,이용X사선연사의(XRD)연구료박막정체결구,용X사선광전자보의(XPS)분석박막적성분,용원자력현미경(AFM)관찰박막표면형모화조조도,용분광광도계연구박막적반사솔.연구발현수츤저온도승고,박막중양함량증가,정체결구변위혼합정면취향,정화솔강저,표면조조도증대,반사솔하강.장기응용도NIP비정규박막태양전지중,재츤저온도위300℃시,득도료5.6%적전지전환효솔.
